當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>管式爐>>PECVD系統(tǒng)>> OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL滑動式雙溫區(qū)PECVD
產(chǎn)品特點:
•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度;
•滑軌式可快速加熱和快速冷卻;
•兩個加熱區(qū),溫度梯度最大可達 200°c;
•可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。
加熱爐參數(shù):
•最高溫度:1200°C(<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃;
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);
•輸入功率:208-240V,單相,最大功率:3KW;
•高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗;
•爐體開啟式設(shè)計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。
射頻電源:
真空系統(tǒng):
•·采用TRP-12的雙旋真空泵;
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)(可選):
•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);
•流量范圍:
•電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;
•氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸和重量:
設(shè)備總體尺寸:2200mmL 800mmW 1500mmH
凈重:610kg
注意:
采用氬氣高于射頻功率200W情況下,需特殊說明:設(shè)備需要特殊改造幾測試,(有法蘭過熱情況)
質(zhì)保:
一年保質(zhì)期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件
因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)